研磨液供液系统SDS(Slurry Delivery System)是用来为CMP设备供给研磨液的。研磨液在SDS和水或双氧水等按一定比例混配好之后，然后通过管路再输送到CMP机台研磨单元的slurry arm 供研磨过程中使用。因此，SDS能够提供流量稳定不间断的研磨液，精准的配比，并且在输送管路中没有结晶，对CMP工艺非常重要。
客户痛点：研磨液在配比和使用过程会产生泡沫，普通的电容传感器在管道上检测液位的时候会对泡沫产生误信号。
解决方案：讯巴赫智能电容传感器SCBT 3045,采用电容调频技术和多模态补偿算法，有效屏蔽泡沫，稳定检测；
产品特点：
电容调频技术和多模态补偿算法，可靠检测多种介质，抗挂料能力极强；
PNP/NPN 常开/常闭可设置；
Teach in模式，可以自动识别物料，有效屏蔽泡沫；
