schönbuch应用 | TL12系列微型激光传感器应用于硅片定位检测

硅片上下料机是光伏电池、半导体晶圆产线的前端自动化设备，实现硅片 / 晶圆在花篮（Cassette）‑工艺设备‑花篮之间自动取片、分片、传输、定位、检测、放片，替代人工，降低碎片、污染，匹配制绒、扩散、PECVD、PVD、刻蚀、清洗等工艺主机，半导体领域又称EFEM 设备前端模块。

两大应用场景

1. 光伏硅片

   ：方形薄片（182/210mm，厚度 100‑160μm），追求高产能，碎片率低；

2. 半导体晶圆

   ：圆形 8/12 英寸晶圆，带 Notch 缺口 / Flat 平边，洁净等级高、微米级定位精度。

讯巴赫TL12系列微型激光传感器应用于花篮上下料过程中硅片或者晶圆的有无定位检测。

产品特点：

• 多种量程可选，背景抑制漫反射300mm，镜反射1m；对射3m；

• 开关频率高，可达1000Hz；

• 光斑尺寸：Φ0.3mm以下 ，可识别最小Ø 0.01 mm (金属线)；