schönbuch应用 |SE964系列 按钮式光学传感器 应用于晶圆座到位检测

1793666765160542.png

晶圆盒（FOUP/FOSB）落座检测（Loadport 核心互锁）

判断 FOUP 晶圆盒是否完整、平稳落在 Loadport 载台定位销上；只有落座 OK，才允许 FOUP 锁扣锁紧、开门、机械手进盒取晶圆，是半导体前端最高优先级硬件互锁，防止 FOUP 倾斜、悬空、垫异物、未放到底，避免撞机械手、破片、颗粒污染。

图片

检测目的：

  • FOUP 未放、空载台；

  • 单边悬空、倾斜（OHT 下放偏斜、底部有异物颗粒）；

  • 只压到部分点位，四角没有全部坐实；

  • FOUP 底部保护盖未摘除（特殊互锁）；

  • 载台定位销未进入 FOUP 定位孔；

    图片


讯巴赫按钮式光学传感器，采用按钮式设计，按压行程：约 0~4.5mm，

特点：

  • 不受FOUP盒的规格，底面材料、颜色、反射率的影响，准确检测FOUP盒的落座；

  • 薄型设计，可以装备在搬送臂等上；

  • 4方向指示灯，识别度高；

  • 采用光学方法检测，响应快，寿命较长。(机械性寿命500万次以上)；

  • NPN/PNP两种输出可选。